導致伺服液壓機液壓閥失效的具體原因如下：
1、變形
液壓閥工件在工作中的應力和使用過程中的外載荷應力大于工件材料的屈服強度時，工件產生變形，不能完成正常功能而失效。閥芯彎曲變形或彈簧變形，工件變形將使其移動靈活度下降，造成系統壓力不穩定，或狀態轉換過程緩慢等問題。
2、磨損
液壓工件、閥套、閥體等機械部件的運動在使用時不斷產生摩擦，使得工件尺寸形狀和表面質量發生變化，質量下降而失效。閥芯磨損或變形，將會使閥內泄而使效率下降，同時由于磨損導致工件表面的金屬脫落，增加了 伺服液壓機液壓系統內的雜質數量，又加劇了磨損程度。
3、腐蝕
液壓油中混有的水分或酸性物質過多，長時間使用后，會腐蝕液壓閥中的有關工件的表面，使工件的精度和密封作用失效。
4、疲勞
處于長期的交變載荷工作下，伺服液壓機液壓閥中的彈簧會因疲勞造成彈簧變軟、閥座產生疲勞及產生裂紋等其它損壞。彈簧過軟或變短，將會影響閥芯工作位置及正常復位，使得系統不能正常工作。
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